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          • 无尘车间清洁管理目的及原则


            半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

            1.无尘车间管理的目的

            半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

            2.管理的原则

            2.1 进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净室.

            2.2 操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。

            2.3 严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。

            2.4 清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。

            2.5 洁净室环境控制的内容包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。


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